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表面粒子计数器 LAPC-QIII-ST
特点：
· 符合T/CAMDI 009.1-2020 ，ISO 21501-4-9 ，T/CAMDI 009.1-2020， IEST-STD-CC1246D和21 CFR-Part11标准
· 对曝光机 ，显影机 ，蚀刻、 黄光偏光板贴附机台效果显著
· 可快速测量设备表面 ，实时显示颗粒数值 ，确认机台、零件表面洁净度
· 能降低清洗维护成本 ，提高设备维护效率
· 可确认产品制程前后的粒子分布情况 ，以确定污染源
· 配备多种异形探测头 ，满足客户多样化需求
· 自净时间短 ，预防保护维护（PM） 周期少 ，效率高
特点：
LAPC -QIII-ST型表面尘埃粒子计数器通过气流方式将附着在表面的颗粒重新进行悬浮， 通过采 集悬浮颗粒，使用基于激光光学传感器和光散射原理， 获取悬浮粒子的散射光信号， 进行计数显示 。
主要用于半导体晶圆表面、光学元件、集成电路板等生产环境检测。为半导体制程工艺提供数据 , 提高良品率与可靠性。
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主要技术参数 |
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尺寸 |
280mmx330mmx210mm(长X宽X高) |
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质量 |
9KG |
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输入电压 |
DC21V(可充式内置锂离子电池) |
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粒径通道 |
0.1 , 0.2, 0.3，0.5，1.0 ，5.0（μm） 0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0(um) |
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采样周期 |
3s或者6s |
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采样流量 |
28.3L/min 1/2”探头0.6CFM(17L/min) |
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电池续航时间 |
5小时 |
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允许*大采样浓度 |
10000颗/L(尘埃颗粒粒径不小于0.1um)采样空气中不得含有酸碱等腐蚀性气体 |
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显示屏幕 |
7寸、Android工业电容触摸屏 |
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数据存储 |
大于1000000组 |
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数据接口 |
wifi、以太网、USB、外置蓝牙打印机 |
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管理权限 |
四级权限功能 |
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光源寿命 |
半导体激光光源，寿命大于30000小时 |
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自净时间 |
≤10min |
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使用环境 |
温度:0-40℃;湿度:5-95%RH(无冷凝) |
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计数效率 |
在0.1 μm为50%(±20%)和在 大于0.2 μm为100%(±10%) |
