吹扫瓶Precursor Purge Bottle（也常叫 Bubbler Purge、惰性气体吹扫瓶、载气鼓泡瓶）一般用在 CVD / ALD / 半导体外延、气相沉积设备里，配合液体前驱体、易挥发固体前驱体源瓶 使用，核心作用是：用惰性气体把管路里残留的前驱体蒸汽吹扫干净，防止冷凝、堵塞、交叉污染。

一、工作原理

1. 载气预饱和 / 干燥吹扫气（N₂/Ar/He）先经过吹扫瓶，可带少量溶剂蒸汽，避免前驱体被过度稀释或冷凝。

2. 管路吹扫、防前驱体残留脉冲结束后，吹扫气经过此瓶再进入管路 / 腔体，稳定气流，减少死体积残留。

3. 缓冲稳压避免气路压力突变，保护 MFC、阀门和腔体工艺稳定性。

4. 观察气泡，判断气路通断透明材质可直接看气泡，快速判断是否通气、流量是否正常。

二、产品结构

· 主体瓶身：PFA / PTFE（高纯、耐 HF、耐卤化物前驱体）

· 进气插管：长管插到瓶底，鼓泡

· 出气管：短管，在上部出气

· 瓶盖 / 接头：PFA/PTFE 螺纹，配氟胶 / 全氟密封圈

· 可选：带刻度、带加热夹套、带旁路

三、PFA吹扫瓶产品优势

· 耐 HF、卤化物、金属有机前驱体

· 超低金属析出，符合半导体 / 光伏的高纯要求

· 半透明，能直接看气泡

· 耐高温，可加热伴热，防止前驱体冷凝

· 不吸附、不沾液，易清洗再生

· 前驱体吹扫瓶：一般装惰性溶剂、空白液，或干脆空瓶仅作缓冲 / 鼓泡观察专门给吹扫气路使用，不参与反应成膜

四、常见规格（实验室 / 小量产常用）

· 100 mL / 250 mL / 500 mL / 1 L

· 接口：1/4" PFA 接头、卡套、 flare 接头

· 配套：PFA 管路、PFA 阀门、MFC 质量流量计

五、适用工艺

· ALD / CVD 氟基前驱体吹扫

· 半导体高纯氧化层、氮化物沉积

· HF、含氟前驱体气路保护与吹扫