Veeco K465 K465i E300外延设备滤芯

产品说明：

该产品系我司针对Veeco K465i设备设计生产的滤芯，安装于真空泵前，用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒；

2只/组（粗滤、细滤）

组成材料：

1、滤材： 耐高温玻纤滤料

2、支撑材料：双面304#不锈钢金属网

3、骨架：304#不锈钢菱形网

4、密封垫圈：硅发泡橡胶垫片

5、密封胶：硅橡胶

规格：

1、端盖：φ360、304#不锈钢

2、耐高温密封垫：φ340*φ265*T5

3、折数：一级（100μm）:118折, 折高65mm;二级（25μm）:88折，折高65mm